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发布时间：1970-01-01编辑：YZM阅读：(37059)字号： 大 中 小

北京华卓精科科技股份有限公司由清华IC装备团队在清华大学及其下属“北京-清华工业技术研究院”和02专项的支持下创立，是一家肩负着专项重大科研成果产业化重任的高新技术企业。公司建立初衷在于将清华大学在02专项中积累的高端垄断技术落地产业化，通过“技术辐射＆下行”的方式，面向国内市场提供产业界急需的高端零部件、子系统类产品。华卓精科主要从事半导体制造装备及其关键零部件研发、设计、生产、销售与技术服务。

主要产品介绍

        华卓精科面向国内外的IC制造、光学、超精密制造等行业，致力于为行业提供整机装备、核心子系统、关键零部件和定制服务，主营产品包含高端整机、超精密运动系统、精密仪器设备和高端特种制造等方面。华卓精科以国内著名高校的原发技术为基础，经过多年技术攻关和客户实用，形成了坚实规范的技术研发体系，现在已经成功推出了光刻机双工件台、精密隔振、超精密运动系统、关键零部件等系列化产品。



主要产品介绍

产品名称	应用领域	产品简介
光刻机 工件台系统	该产品双台系列主要应用于65nm及以下节点的ArF干式、浸没式步进扫描光刻机、KrF步进扫描光刻机，单台系列产品应用于i线、g线步进扫描光刻机及封装光刻机等。	产品采用具有自主知识产权的平面磁浮、平面气浮、6自由度磁浮微动台等核心技术，包含独有的超精密结构、超精密驱动、超精密检测以及纳米精度运动控制等成套关键核心技术并形成完整知识产权保护体系，具有高速双台交换、6自由度纳米精度定位控制功能，最大加速度不小于30 m/s^2、最大速度不低于500m/s、轨迹跟踪误差MA（移动平均）小于2nm、MSD（移动标准差）小于5nm、建立时间小于10ms，能满足高端光刻机套刻分辨率及产率需求。
超精密运动 定位平台	该产品广泛应用于光学高分辨率检测、电子及半导体制造装备、激光精密加工等行业领域。	基于光刻机工件台原发技术，面向市场提供国产化高端先进的超精密运动系统解决方案。采用了先进的模块化、标准化、快速集成模式，能够提供高端个性化定制服务。目前可为市场提供涉及5个系列的30余款产品，其中部分产品正在逐步替代进口同类产品。
高性能主动 隔振系统	该产品广泛应用于制造、检测领域的精密/超精密仪器、设备的隔振与减震。也可应用于科研院所的精密/超精密仪器、设备隔振。	公司自2004年起开展主被动隔振技术及产品研制开发，目前已掌握主被动隔振关键核心技术及工程化应用能力，并形成具备5大系列、30余款产品的产品体系，同时可为用户提供定制化的系统方案服务，其中部分隔振器已逐步替代进口同类产品。
激光快速 退火设备	主要应用于IGBT（绝缘栅场效应晶体管）背退火，还可应用于集成电路超浅结快速退火以及太阳能、TFT、LED、MEMS等领域。	该产品是依托专利工艺技术以及公司自有整机装备研发能力，面向特定市场推出的IGBT激光快速背退火工艺装备。该装备可实现退火深度精确调节、离子激活率精准控制，以及不损伤超薄晶圆正面已加工器件等独特优势。
静电卡盘	该产品广泛应用于PVD、PECVD、ETCH、EUVL、离子注入等高端半导体制造装备。	静电卡盘（Electrostatic Chuck，E-CHUCK）是一种适用于真空环境或等离子体环境的超洁净晶圆片承载体，它利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持，华卓精科在承担国家02重大专项相关课题的基础上，通过技术攻关，已掌握相关核心技术并实现产品化。